tina890526
加工精度以纳米，甚至最终以原子单位(原子晶格距离为1～2纳米)为目标时，切削加工方法已不能适应，需要借助特种加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的结合能，从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。这些方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度，仍有赖于精密的加工设备和精确的控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台定位精度高达±01微米的超精密加工设备。 
传统的机械加工方法(普通加工)与精密和超精密加工方法一样。随着新技术、新工艺、新设备以及新的测试技术和仪器的采用，其加工精度都在不断地提高。加工精度的不断提高，反映了加工工件时材料的分割水平不断由宏观进入微观世界的发展趋势。随着时间的进展，原来认为是难以达到的加工精度会变得相对容易。因此，普通加工、精密加工和超精密加工只是一个相对概念?其间的界限随着时间的推移不断变化。精密切削与超精密加工的典型代表是金刚石切削。
超精密加工技术对某些结构光学元件的加工具有很多优点，但将超精密加工技术与复制成型技术结合起来或许是加工微光学元件最有效的方式，即用超精密加工技术来加工复制模具，然后利用该模具制作出微光学元件。用单晶金刚石车床加工光学元件模具，需要注意选择合适的加工参数，以减小毛刺，降低模具的误差，另外要能加工出合适的金刚石刀具。用金刚石车床加工的模具来制作的菲涅尔透镜用于高架投影仪已获得巨大成功。3总结微光学技术的不断发展，对微光学元件制造技术提出了更高的要求，超精密机械加工技术，经过最近十多年来的快速发展，具有很多传统光学制造技术，如光刻技术和LIGA 技术等所不具有的优势：①能加工真正的三维结构，且精度达纳米级；②能在模具上加工浮动对准结构；③能在同一元件上加工出不同深宽比的结构。在微光学制造领域，很多类似产品却是由很多不同方法加工而成的，这说明了微光学制造技术的不成熟性，尽管超精密机械加工技术在微光学元件及其模具加工中的应用具有很多的优点，但也仍是处于初步发展阶段。因此，超精密加工技术还具有很大的发展潜力。我们相信，超精密加工技术与复制成型技术结合，必将会推动微光学及其集成技术的大力发展。
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