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科技论文的标准格式⑴题名是以最恰当，最简明的语词反映论文中最重要的特定内容的逻辑组合，应避免使用的不常见的省略词，首字母缩写字，字符，代号和公式，字数一般不宜超过20个题名用语⑵作者姓名和单位，两人以上，一般按贡献大小排列名次①文责自负;②记录成果;③便于检索⑶摘要:是论文的内容不加注释和评论的简短陈述，中文摘要一般不会超过300字，不阅读全文，即可从中获得重要信息外文250实词包括:①本研究重要性;②主要研究内容，使用方法;③总研究成果，突出的新见解，阐明最终结论重点是结果和结论⑷关键词是从论文中选取出以表示全文主题内容信息款目的单词或术语，一般3-7个，有专用《主题词表》⑸引言回来说明研究工作的目的，范围，相关领域的前，人工作和知识布局，理论基础和分析，研究设想，研究方法，预期结果和意义⑹正文⑺结论:是指全文最终的，总体的结论，而不是正文中各段小结的简单重复要求准确，完整，明晰，精练⑻致谢:是对论文写作有过帮助的人表示谢意，要求态度诚恳，文字简洁⑼参考文献表(注释)，文中直接引用过的各种参考文献，均应开列，格式包括作者，题目和出版事项(出版地，出版社，出版年，起始页码)连续出版物依次注明出版物名称，出版日期和期数，起止页码⑽附录:在论文中注明附后的文字图表等科技论文的选题可以参考下面的范围:为什么衣服能使人暖和？电磁跑道彩色投影小磁针做勇于创新的人别把垃圾浪费掉皮鞋为什么越擦越亮节省能源的路灯树干上绑稻草的秘密为什么这根铜线不导电？柳枝倒插、两头插也能成活吗？菜粉蝶实验学生科技制作与发明范例关于噪声的危害和控制 
内容方面：论文正文由论文题目、单位、年级、作者、中文摘要、关键词(中文)、正文、参考文献等部分组成。1、 论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，可分两行书写；2、 作者：处于论文题目正下方，须写明专业、年级、姓名3、 摘要：中文摘要字数应在100字左右；4、关键词：中文关键词限制在3～5个词汇内；5、正文：论文正文包括绪论(或者前言、概述等)、论文主体、结论等，正文要标明章节，图表和公式要按章编号，公式应另起一行书写，并按章编号；6、参考文献：必须是学生本人真正阅读过的，以近期发表的学术期刊文献为主，图书类文献不能过多，且要与论文工作直接相关的文献。在引用处，用尾注方式标示出来。参考文献按照文中引用出现的顺序列全。排版格式规范1、版面尺寸：A4(210×297毫米)。2、装订位置：左面竖装，装订位置距左边界8～10毫米。3、页码：采用页脚方式设定，采用小4号宋体、用第×页和随后的括号内注明共×页的格式，处于页面下方、居中、距下边界15毫米的位置。4、正文文本：宋体小4号、标准字间距、行间距为固定值26磅、所有标点符号采用宋体全角、英文字母和阿拉伯数字采用半角的要求排版。5、论文标题：小2号宋体加粗。6、作者：标题下隔一行，居中，采用小4号仿宋体。7、中文摘要和中文关键词：用小4号仿宋体、两端对齐方式排列。8、正文内标题：一级标题采用中文序数(如一、二、三、……)标引、小3号宋体加粗并居中排列；二级标题采用阿拉伯数字(如1、2、3、……)标引、4号宋体加粗距左边正文边框两个字对齐排列；三级标题采用加圆括号的阿拉伯数字标引、与正文相同字体和对齐方式排列；一级标题与上一段落之间隔一行。9、正文文字：用小4号宋体。10、文中图表：所涉及到的全部图、表，不论计算机绘制还是手工绘制，都应规范化，符号、代号符合国家标准，字体大小与正文协调，手工绘制的要用绘图笔，图表名称和编号准确无误。11、参考文献：位于正文结尾后下隔2行，“参考文献”4字居中，采用4号宋体加粗；具体参考文献目录按小4号仿宋体、靠左对齐、阿拉伯数字标引序号的方式排列。
中图分类号：××××× 学 号：SY07011××(BY07011××) 硕(博)士文 献 综 述 ……………………………分析（题目不要超过25个字，32号字，宋体，居中） 作者姓名 ××学科专业 ××指导教师 ×× 培养院系 化学与环境学院 页眉为： 北京航空航天大学化学与环境学院 摘要：（小4号字， 黑体，靠左）：…… （小4号字， 仿宋_GB2312），400字左右关键字：（小4号字， 黑体，靠左）：…… （小4号字， 仿宋_GB2312），5个左右Abstracts：（小4号字， Times New Roman，加黑，靠左）…… （小4号字， Times New Roman），Key words：（小4号字， Times New Roman，加黑，靠左）…… （小4号字， Times New Roman）， 文献概述（小3号字， 黑体，靠左） ……（内容，小4号字，宋体）包括：对所述研究方向阅读文献的概述 基本研究现状与发展趋势（小3号字， 黑体，靠左） ……（内容，小4号字，宋体）所述研究方向的基本研究现状与发展趋势，含主要研究的若干分支，每个分支的理论/方法/方案//技术研究的现状，关键问题已解决的程度与尚待解决的难点，未来发展的趋势等，按参考文献书写格式标注参考文献。 结论5．主要参考文献（小3号字， 黑体，靠左）…… （小4号字，宋体）格式见“附录四：参考文献书写格式” 注：根据培养方案要求，硕士研究生在读期间应阅读一定量的国内外文献。机械工程学科要求：科技文献（硕士≥25篇，博士≥50篇），其中外文文献（硕士≥10篇，博士≥25篇）电气工程学科要求：科技文献（硕士≥25篇，博士≥80篇），其中外文文献（硕士≥15篇，博士≥25篇）控制科学与工程学科要求：科技文献（硕士≥30篇，博士≥100篇），其中外文文献（硕士≥20篇，博士≥30篇）工程硕士要求：科技文献不少于25篇，其中外文文献不少于10篇二． 要求1．文献综述总字数，硕士及工程硕士≥10000中文字，博士≥20000中文字，。2．文献综述正文页眉为：北京航空航天大学化学与环境学院（小4号字，宋体） 中图分类号：××××× 密级：× × 学 号：SY07011××(BY07011××) 硕(博)硕士开题报告 ……………………………研究（题目不要超过25个字，32号字，宋体，居中） 作者姓名 高××学科专业 ××××××指导教师 张×× 培养院系 化学与环境学院 页眉为： 北京航空航天大学化学与环境学院 论文选题依据（小3号字， 黑体，靠左） ……（内容，小4号字，宋体）包括：论文选题的意义、国内外研究现状分析、课题相关方面的最新成果和发展动态、按参考文献书写格式标注参考文献。2．论文研究方案（小3号字， 黑体，靠左） 1研究目标及研究内容（4号字，宋体，加黑）……（内容，小4号字，宋体）2拟解决的关键问题及难点……（内容，小4号字，宋体）3 拟采用的研究方法、技术路线、实验方案及预期的新意/创新……（内容，小4号字，宋体）预期达到的目标及考核指标（小3号字， 黑体，靠左）…… （内容，小4号字，宋体。）具体说明本论文完成时所能给出的具体成果 论文工作计划（小3号字， 黑体，靠左）…… （小4号字，宋体。）根据论文内容详细列写出完成每一项工作的起止年月。初步确定答辩时间定在12月份。5．主要参考文献（小3号字， 黑体，靠左）…… （小4号字，宋体）科技文献（硕士≥20篇，工程硕士≥15篇，博士≥40篇），其中外文文献（硕士及工程硕士≥10篇，博士≥20篇），格式见“附录四：参考文献书写格式二． 要求1．开题报告正文总字数：硕士及工程硕士≥8000字，博士≥20000字。（总字数=字数/行*行数*页数，图表算字数，）2．开题报告正文页眉为：北京航空航天大学化学与环境学院（小4号字，宋体）
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃，多通过ITO导电膜玻璃生产线，在高度净化的厂房环境中，利用平面磁控技术，在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz，以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<，2>-SiO<，2>/SnO<，2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 10、Huo Z，Dai S，Wang K，et a1．Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-／I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J]．Solar Energy Materials and Solar Cells，2007，91(20)：1959-1965． 11、王璟和，射频溅射法制备透明导电陶瓷薄膜 天津大学 12、姜磊等， 染料敏化太阳电池研究进展 内蒙古大学学报（自然科学版） 13、曾志峰等， 射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究 武汉大学学报（理学版） 14、段理、樊小勇等， 磁控溅射制备银掺杂 薄膜结构及光电性质研究 材料导报(研究篇) 15、SunLL，TanO K，ZhuW G，et a1．Pb(Zro 3Ti0． 7)03／Pb-TiO3 multilayer thin films for pyroelectric infrared sensorapplication[J]．J Appl Phys，2006，99(9)：09410 16、顾锦华、钟志有等， 真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响 中南民族大学学报(自然科学版) 17、王磊、杜军等， 退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响 材料导报 18、范志新等， 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式 电子器件 19、刘庆业等， 射频溅射法研制SnO2纳米薄膜 广西师范大学学报（自然科学版）
文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。
这是我们的论文要求格式材料与化学工程学院毕业设计（论文）撰写规范（试行）一、毕业设计报告撰写的内容与要求 1．标题：设计课题名称要求简洁、确切。标题的字数一般不超过20个字。 2．目录：按三级标题建立。 3．摘要：应扼要叙述本设计的主要内容、设计的成果及特点；文字要简练。中文摘要为200～300汉字字符，关键词约3～5个，同时还需译成英文摘要和英文关键词。通常在毕业设计报告全文完成后再写。 4．前言：应说明本设计的目的、意义、范围及应达到的技术性能与要求；简述本课题的国内(外)发展现状及存在的问题；本设计的指导思想、技术路线；阐述本设计应解决的主要问题。 5．正文： （1）设计方案论证：应说明设计原理和方法、方案选择的过程，多种方案的比较分析；还应阐述所采用方案的特点(如：采用了何种新技术、新对策、提高了什么性能等)。 （2）设计部分：这也是设计报告的重要组成部分。写出具体实现设计任务的全过程， 大体有：设计方案，具体内容，设计成果。可结合设计的有关图纸叙述。 （3）计算部分：这部分在设计报告中应占相当的比例。具体包括：计算项目、相关理论、计算方法、公式推导、计算过程、数据结果等。 （4）技术经济分析及社会、环境评价等。 （5）设计方案的校验：说明所设计的系统是否满足各项性能指标的要求，能否达到预期效果。校验的方法可以是理论分析（即反推算），包括系统分析；也可以是实验测试及计算机的上机运算等，如各种实验及测试情况；主要包括实验方法、测试数据及分析处理等。6．结论：概括说明本设计的情况和价值，分析其优点、特色，有何创新，性能水平，并指出其中存在的问题和今后的改进方向，特别是对设计中遇到的重要问题要重点指出并加以研究。7．谢辞：简述自己通过本设计的体会，并对指导教师和协助完成设计的有关人员表示谢意。8．参考文献与附录：在报告的谢辞之后，应列出主要参考文献。并将各种篇幅较大的图纸、数据表格、计算机程序清单等作为附录附于报告之后。 二、毕业论文撰写的内容与要求毕业论文的主要内容和形式有：1．标题：标题应该简短、明确，要有概括性。让人看后能大致了解文章的确切内容、专业的特点和学科的范畴。标题的字数要适当，一般不宜超过20字。2．目录：按三级标题建立。3．摘要：应当以浓缩的形式概括本研究课题的主要内容、方法和观点，以及取得的主要成果和结论，应反映整个论文的精华。要求陈述客观，重点突出，简明扼要，语句精练，独具文采。中文摘要为200～300汉字字符，关键词约3～5个，同时还需译成英文摘要和英文关键词。摘要一般在毕业论文全文完成后再写。4．前言：这是全篇论文的开场白。它包括选题的缘由及意义，对本课题现有研究情况的评述，说明所要解决的问题和采用的相关理论与方法，概述研究的论点、论据和所获成果。5．正文正文是作者对自己研究工作的详细表述。6．结论：这是对整个研究工作进行归纳和综合而得出的总结。它集中反映作者的研究成果，表达作者对所研究课题的见解和主张，是全文的思想精髓，是论文的水平及价值的体现。要求写得概括、明确、措辞严密、容易领会；要实事求是地介绍自己的研究成果，属于他人的结论不可写；同时也切忌言过其实。7．谢辞：在论文的结尾处，以简短文字，对课题研究与写作过程中曾给予直接帮助的人员，如指导教师及其他人员，表示自己的谢意。8．参考文献：这是毕业论文不可缺少的组成部分。它反映毕业论文的取材来源、材料的广博程度及可靠程度。一份完整的参考文献也是向读者提供的一份有价值的信息资料。引用参考文献时，必须注意写法的规范性。 必须提醒的是：不管在论文的那一部分，采用到前人的观点、方法、结论、成果时，都必须注明其来源。一般的做法是将前人的相关论文或资料编入参考文献，然后在你引用的文字处加上该参考文献的编码即可，如不这样做，就有抄袭、剽窃、侵权之嫌。 三、毕业设计(论文)具体排版格式要求毕业设计说明书和毕业论文均采用word文档打印（建议OFFICE2003以上版本）。具体格式要求如下：1．标题：摘要、目录、参考文献、附录、致谢等标题作为第一级标题排版。论文正文按章、节、款、项分级，在不同级的章、条、款、项阿拉伯数字编号之间用点“”（半角实心下圆点）相隔，最末级编号之后不加点。标题排版格式标题字号格式举例论文题目二号字加粗居中对齐 论文题目第一级(章)二号字加粗居中对齐第一章 XXX第二级(节)三号字加粗左对齐1 XXXXXX第三级(款)小四号字加粗左对齐1 XXXXXX正文小四号字………… 2．目录 目录生成到3级标题，目录序号使用阿拉伯数字，如：目 录（二号字） 第1章××××××××××（四号）…………… ……页码 1××××××××× （四号）…………… ……… …页码 1××××××××× （小四）…… … …………… 页码 第2章×××××××××…… … ……………页码 1××××××××× ………… ……………页码 1×××××××× ………… ……… …页码 结束语（四号）…… …………………………………页码 致 谢（四号）………… ………………………………页码 参考文献（四号）…… ………………………………页码 3．正文： 正文采用小四号字，两端对齐，5倍行距，首行缩进2字符。 每章结束后，另起一页(相邻章的内容不能在同一页面内)。4．页眉、页脚：自摘要页起加页眉、页脚。页眉采用五号字居中，奇数页的页眉书写毕业设计 ( 论文 ) 的题目，偶数页的页眉书写：安徽建筑工业学院本科生毕业设计 ( 论文 )。页脚采用五号字居中标注页码（摘要和目录采用罗马数字，其它采用阿拉伯数字）。5．插图：图标题应在一级编号下顺序编号，如图1、图2、图1、图2……，采用五号字居中置于图的正下方，段后空一行。数据图尽量用Origin绘图软件绘制。坐标比例适当，同一图上不同曲线的点要分别用不同形状标出；图中的术语、符号、单位等应同文字表述所用一致；图序及图名置于图的下方，居中排写。需要的话，可在图名之下加附说明。6．表：表标题应在一级编号下顺序编号，如表1、表2、表1、表2……，采用五号字居中置于表的正上方，段前空一行。表格应随文给出，先见文后见表；表中参数应标明量和单位的符号；表序及表名置于表的上方，居中排写；一张表格应为一个整体，表格一页排不下允许下页接写，表题可省略，表头应重复写，并在右上方写 “ 续表 ××” 。7．公式：正文中引用的公式、算式或方程式等应在一级编号下顺序编号（式号），如式（1）、式（2）、式（1）、式（2）……，采用五号字。公式一般单行居中排版与上下文分开，式号与公式同行居右排版。8．注释 毕业设计 (论文)中有个别名词或情况需要解释时，可加注说明，注释可用页末注（将注文放在加注页的下端）或篇末注（将全部注文集中在文章末尾），而不可行中注（夹在正文中的注）。9．附录：包括设计图纸、原始数据、计算程序及说明、过长的公式推导以及外文文献译文等。其中，设计图纸可另附。附录标题按顺序用大写英文字母标识，如附录A、附录B……。附录中的图、表、公式、参考文献等另行编排序号，与正文分开，一律用阿拉伯数字编号，但在数码前冠以附录序码。例如：图A1，式（B3）等。10．参考文献：正文中引用的内容应在引用处的右上角用阿拉伯数字顺序统一编号（用方括号括起）标注，并在正文后面按正文中的编号顺序用阿拉伯数字列出参考文献，五号字体。参考文献按国标GB7714-87的规定进行书写，即文献编号、作者姓名、书名或文集名卷号（或期刊名、期刊号）、出版单位、出版年月、页码等。作者姓名写到第三位，余者写“，等”或 “， et ”。专著格式：序号 编著者 书名[M]，出版地：出版社，年代，起止页码期刊论文格式：序号 作者 论文名称[J]，期刊名称，年度，卷（期）：起止页码学位论文格式：序号 作者 学位论文名称〔D〕，发表地：学位授予单位，年度四、用纸、印刷及装订 1．纸张规格： 纸张尺寸为标准A4复印纸（210mm×297mm）。 2．页面设置： 所有页面的页边距设置为上：5cm、下：5cm、左：3cm、右：5cm，装订线在左侧。 3．字体：中文字符使用宋体，西文字符使用Times New Roman字体，全文统一。 4．封面：安徽建筑工业学院本科生毕业设计说明书（毕业论文）标准封面。 5．装订：毕业设计说明书或毕业论文按封面、扉页、中英文摘要（含关键词）、目录、正文、参考文献、附录、致谢的顺序沿长边装订成册。
