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等离子体是由大量的带电粒子组成的非束缚态体系，是继固体、液体、气体之后物质的第四种聚集状态。等离子体有别于其他物态的主要特点是其中长程的电磁相互作用起支配作用，等离子体中粒子与电磁场耦合会产生丰富的集体现象。气体放电是产生等离子体的一种常见形式，在低温等离子体材料表面改性、刻蚀、化学气相沉积、等离子体发光等方面有广泛的应用，同时也是实验室等离子体物态特性研究的重要对象。气体放电实现的方式可以千差万别，但产生放电的基本过程是利用外（电）场加速电子使之碰撞中性原子（分子）来电离气体。 
纳米材料制备：石墨烯、碳纳米管、富勒烯、金刚石膜等。材料改性：高聚物，纺织品。半导体工业：新半导体材料、亚微米刻蚀。镀膜：pvd，cvd镀膜。可采用ECR方式。材料制备：发泡金属材料。环保：废烟、气、水处理。医药领域：医疗器材低温消毒。电子领域：LCD等电子零部件表面清洗。食品、医药化妆品工业有效成分萃取。植物种子、微生物菌改性，辅助催化。光学：平板显示。
