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论文题目（宋体：3号字）基金项目作者姓名、单位、地址、邮编关键词：xxx（宋体，5号字）摘 要：xxx（宋体，5号字，300字以内）正 文：……（宋体，5号字，正文字数不少于2200）参考文献: 按文章中出现的先后顺序列出，给出编号，并在文章中引用的地方上标此编号，注明引文出处、作者、出版社、页码（宋体，5号） 
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃，多通过ITO导电膜玻璃生产线，在高度净化的厂房环境中，利用平面磁控技术，在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz，以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<，2>-SiO<，2>/SnO<，2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 10、Huo Z，Dai S，Wang K，et a1．Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-／I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J]．Solar Energy Materials and Solar Cells，2007，91(20)：1959-1965． 11、王璟和，射频溅射法制备透明导电陶瓷薄膜 天津大学 12、姜磊等， 染料敏化太阳电池研究进展 内蒙古大学学报（自然科学版） 13、曾志峰等， 射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究 武汉大学学报（理学版） 14、段理、樊小勇等， 磁控溅射制备银掺杂 薄膜结构及光电性质研究 材料导报(研究篇) 15、SunLL，TanO K，ZhuW G，et a1．Pb(Zro 3Ti0． 7)03／Pb-TiO3 multilayer thin films for pyroelectric infrared sensorapplication[J]．J Appl Phys，2006，99(9)：09410 16、顾锦华、钟志有等， 真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响 中南民族大学学报(自然科学版) 17、王磊、杜军等， 退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响 材料导报 18、范志新等， 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式 电子器件 19、刘庆业等， 射频溅射法研制SnO2纳米薄膜 广西师范大学学报（自然科学版）
第一章 论文的基本要求及内容 1 论文的基本要求 论文应立论正确、推理严谨、说明透彻、数据可靠。 论文应结构合理、层次分明、叙述准确、文字简练、文图规范。对于涉及作者创新性工作和研究特点的内容应重点论述，做到数据或实例丰富、分析全面深入。文中引用的文献资料必须注明来源，使用的计量单位、绘图规范应符合国家标准。 论文的学术水平应满足《长安大学硕士与博士学位授予工作实施细则》的要求。 博士学位论文一般不少于6万字，硕士学位论文一般不少于3万字。 2 论文内容 包括：选题的背景、依据及意义；文献及相关研究综述、研究及设计方案、试验方法、装置和试验结果；理论的证明、分析和结论；重要的计算、数据、图表、曲线及相关分析；必要的附录、相关的参考文献目录等。 对于合作完成的项目，论文的内容应侧重本人的研究工作。论文中有关与指导教师或他人共同研究、试验的部分以及引用他人研究成果的部分都要明确说明。 第二章 论文的主要结构及装订顺序 学位论文一般应由11个部分组成，装订顺序依次为： 1封面（中、英文） 2论文独创性声明和论文知识产权权属声明 3中文摘要 4英文摘要 5目录 6图表清单及主要符号表（根据具体情况可省略） 7主体部分 8参考文献 9附录 10攻读学位期间取得的研究成果 11致谢 第三章 论文的书写规范与打印要求 1 论文的文字及书写 1 论文的文字 除英文封面、英文摘要外，研究生学位论文的其余部分都应该用中文撰写。以下两种情况除外： （1）外国留学生学位论文的目录、正文和致谢等可用英文撰写；但封面、独创性声明和权属声明应用中文撰写，摘要应中英文对照撰写。 （2）外语专业的学位论文的目录、正文和致谢等应用所学专业相应的语言撰写；但封面、题名页、独创性声明和权属声明应用中文撰写，摘要应使用中文和所学专业相应的语言对照撰写。 2 论文的书写 学位论文一律采用A4（210 ×297mm，70g）幅面白色纸张，封面（中、英文）、独创性声明和使用授权书采用单面印刷，从中文摘要开始采用双面印刷。 3 字体和字号 章标题：三号黑体居中 节标题：四号黑体居左 条标题：小四号黑体居左 正文：小四号宋体 页码：五号宋体 数字和字母： Times New Roman 2 论文页面设置 1 页边距及行距 学位论文的上边距：25mm；下边距：25mm；左边距：30mm；右边距：20mm。 章、节、条三级标题为单倍行距，段前、段后各设为5行（即前后各空5行）。 正文为5倍行距，段前、段后无空行（即空0行）。 2 页眉 页眉分奇、偶页标注，其中奇数页的页眉为 。。。博士（硕士）学位论文 ；偶数页的页眉为章序及章标题，例如： 第四章 路基病害类型及分布规律 。页眉都用小五号宋体字，页眉的上边距为15mm；页脚的下边距为15mm。页眉标注从论文主体部分开始（绪论或第一章）。 3 页码 论文页码从“主体部分（绪论）”开始，直至“致谢”结束，用五号阿拉伯数字连续编码，页码位于页脚居中。 封面、题名页、学位论文的独创性声明和权属声明不编入页码。 摘要、目录、图表清单、主要符号表用五号小罗马数字连续编码，页码位于页脚居中。 3 名词术语 科技名词术语及设备、元件的名称，应采用国家标准或部颁标准中规定的术语或名称。标准中未规定的术语要采用行业通用术语或名称。全文名词术语必须统一。特殊名词或新名词应在适当位置加以说明或注解。 采用英语缩写词时，除本行业广泛应用的通用缩写词外，文中第一次出现的缩写词应该用括号注明英文全称。 4 物理量名称、符号与计量单位 文中所用的物理量、符号与单位一律采用国家正式公布实施的《中华人民共和国法定计量单位》及国家标准《量和单位》（GB3100～3102）。 5 图、表及其附注 图和表应安排在正文中第1次提及该图、表的文字下方。当图或表不能安排在该页时，应安排在该页的下一页。 1 图 图包括曲线图、结构图、示意图、图解、框图、流程图、记录图、布置图、地图、照片、图版等。 图应具有“自明性”，即只看图、图题和图例，不阅读正文，就可理解图意。图的编号应采用阿拉伯数字分章依续编号，如：“图2”。 图题应明确简短，用五号宋体加粗，数字和字母为五号Times New Roman体加粗，图的编号与图题之间应空半角2格。图的编号与图题应置于图下方的居中位置。图内文字为5号宋体，数字和字母为5号Times New Roman体。曲线图的纵横坐标必须标注“量、标准规定符号、单位”，此三者只有在不必要标明（如无量刚等）的情况下方可省略。坐标上标注的量的符号和缩略词必须与正文中一致。 照片图要求主题和主要部分的轮廓鲜明，如用放大缩小的复制品，必须清晰，反差适中。照片上应有表示目的物尺寸的标度。 2 表 表的编排，一般是内容和测试项目由左至右横读，数据依序竖读。表应有自明性。 表的编号应采用阿拉伯数字分章依续编号，如：“表5”。表题应明确简短，用五号宋体加粗，数字和字母为五号Times New Roman体加粗，表的编号与表题之间应空半角2格。表的编号与表题应置于表上方的居中位置。表内文字为5号宋体，数字和字母为5号Times New Roman体。 如某个表需要转页接排，在随后的各页上应重复表的编排。编号后跟表题（可省略）和“（续）”，如下所示： 表1 路基各边界热流密度（续） 续表应重复表头和关于单位的陈述。 3 附注 图、表中若有附注时，附注各项的序号一律用“附注 + 阿拉伯数字 + 冒号” ，如：“附注1：”。附注写在图、表的下方，一般采用5号宋体。 6 公式 文中公式的编号采用阿拉伯数字按章编排，用圆括号括起写在右边行末，其间不加虚线。如第一章第1个公式序号为“（1）”， 附录A中的第1个公式为“（A1）”等。文中引用公式时，一般用“见式(1)”或“由公式(1)”。 7 注释 学位论文中有个别名词或情况需要解释时，可加注说明，注释可用页末注（将注文放在加注页的下端），而不用篇末注（将全部注文集中在文章末尾）和行中注（夹在正文中的注）。注号用阿拉伯数字上标标注，如：“注1” 8 保密论文 鼓励尽量对学位论文进行去密处理，减少不必要的保密学位论文数量。去密处理时一般应去掉应用背景，与保密项目相关的技术指标和关键数据，使论文变成纯理论和技术的研究，达到可以公开发表。对于技术和方法的保密，应该通过申请专利来保护，而不是把学位论文变为保密论文。 确实需要保密的论文由指导教师根据论文的情况提出并填写《长安大学涉密学位论文申请表》（申请保密“密级”及“保密期限”），校保密工作委员会按照国家规定的保密条例进行审批。保密审批通过的论文需在封面直接把相应的“密级☆”及“保密期限”标注在右上角，并将《涉密论文审批通知》复印件附在论文最后。密级按由低到高可分为“秘密”、“机密”、“绝密”三级，保密期限可分为“3年”、“5年”、“10年”、“永久”，例如“秘密☆ 5年”。 保密论文不得在非密计算机上排版、存储、打印和传输，复印、装订也应在指定的场所进行，本人还应进行跟踪。 第四章 论文每部分内容的具体要求 1 论文的封面 博士学位论文封面排版格式见附件1、附件6（论文书脊）。硕士学位论文封面排版格式见附件3（学术型硕士学位论文封面）、附件4（专业硕士学位论文封面）、附件6（论文书脊）。 分类号：根据研究生的学科专业对照《中国图书馆分类法》选取（可到研究生部网站查询）。 论文编号：为“学校单位代码（，，，，，）+ 学号”。 密 级：保密论文须直接注明密级及相应的保密期限，如系公开论文此项不注。 论文题目：应准确、鲜明、简洁，能概括整个论文中最主要和最重要的内容。论文题目中所用到的词应考虑到为检索提供特定实用的信息（如关键词），一般不宜超过25个中文字，若语意未尽，可用副标题补充说明。副标题应处于从属地位，一般可在题目的下一行用破折号“——”引出。论文题目应避免使用不常用缩略词、首字母缩写字、字符、代号和公式等。 指导教师：指导教师的署名应以研究生部批准招生的为准，一般只能写一名指导教师，如有经主管部门批准的副指导教师或联合指导教师，可增1名指导教师。 申请学位级别：填写“学科门类＋学位类别”，学科门类有哲学、经济学、法学、教育学、文学、理学、工学、农学和管理学等学科门类以及专业学位类别，如：工学硕士、工程硕士、公共管理硕士、工学博士和理学博士等。 学科专业：以国务院学位委员会批准的授予博士、硕士学位和培养研究生的学科、专业目录中的学科专业为准，一般为二级学科。对专业学位应填写相应的工程领域（如建筑与土木工程）或专业学位（工商管理硕士）名称。 论文提交日期（论文送审评阅时间）、论文答辩日期均需准确填写，一律用阿拉伯数字填写日期。 学位授予单位：。。大学。 2 论文独创性声明和论文知识产权权属声明 学位论文的独创性声明和论文知识产权权属声明的内容和格式见附件7，必须由作者、指导教师亲笔签名并填写日期。 3 摘要 中文摘要内容包括： “摘要”字样，摘要正文，关键词。对于中英文摘要，都必须在摘要的最下方另起一行，用显著的字符注明本文的关键词，格式见附件8。 摘要是学位论文内容的简短陈述，应体现论文工作的核心思想。论文摘要应力求语言精练准确，博士学位论文的中文摘要一般约800～1200字；硕士学位论文的中文摘要一般约500～800字。摘要内容应涉及本项科研工作的目的和意义、研究思想和方法、研究成果和结论，博士学位论文必须突出论文的创造性成果，硕士学位论文必须突出论文的新见解。 关键词：是为用户查找文献，从文中选取出来用来揭示全文主题内容的一组词语或术语，应尽量采用词表中的规范词（参照相应的技术术语标准）。关键词一般为3～8个，按词条的外延层次排列（外延大的排在前面）。关键词之间用逗号分开，最后一个关键词后不打标点符号。 英文摘要：为了国际交流的需要，论文须有英文摘要。英文摘要的内容及关键词应与中文摘要及关键词一致，要符合英语语法，语句通顺，文字流畅。英文和汉语拼音一律为Times New Roman体，字号与中文摘要相同。 4 目录 目录按章、节、条序号和标题编写，一般为二级或三级，目录中应包括绪论（或引言）、论文主体、结论、附录、参考文献、附录、攻读学位期间发表的学术论文和参与的科研项目等，详见附件10。 5 图表清单及主要符号表 如果论文中图表较多，可以分别列出清单置于目录之后。图的清单应有编号、图题和页码。表的清单应有编号、表题和页码。 全文中常用的符号、标志、缩略词、首字母缩写、计量单位、名词、术语等的注释说明，如需汇集，可集中在图和表清单后的主要符号表中列出，符号表排列顺序按英文及其它相关文字顺序排出。 6 主体部分 论文主体一般应包括：绪论（或引言）、正文、结论等部分。 1 章节标题及层次 论文主体分章节撰写， 每章应另起一页。 章节标题要突出重点、简明扼要、层次清晰。字数一般在15字以内，不得使用标点符号。标题中尽量不采用英文缩写词，对必须采用者，应使用本行业的通用缩写词。 层次以少为宜，根据实际需要选择。三级标题的层次对理工类建议按章（如“第一章” ）、节（如“1” ）、条（如“1” ）的格式编写；对社科、文学类建议按章（如“一、” ）、节（如“ （一）” ）、条（如“ 1、” ）的格式编写，各章题序的阿拉伯数字用Times New Roman体。 2 绪论 绪论（或引言）一般作为第一章，是论文主体的开端。绪论的内容应简要说明研究工作的目的、范围、相关领域的前人工作和知识空白、理论基础、研究设想、研究方法和实验设计、预期结果和意义等。应言简意赅，不要与摘要雷同，不要写成摘要的注释。一般教科书中有的知识，在绪论中不必赘述。 学位论文为了反映出作者确已掌握了坚实的基础理论和系统的专门知识，具有开阔的科学视野，对研究方案作了充分论证，因此，有关历史回顾和前人工作的综述分析，以及理论分析等，可以单独成章，用足够的文字叙述。博士学位论文绪论一般不少于8万字，硕士学位论文绪论一般不少于5 万字。 3 正文 正文是学位论文的核心部分，占主要篇幅。 由于研究工作涉及的学科、选题、研究方法、工作进程、结果表达方式的不同，正文可以包括如下相关内容：调查对象、实验和观测方法、仪器设备、材料原料、实验和观测结果、计算方法和编程原理、数据资料、经过加工整理的图表、形成的论点和导出的结论等。总之，作者应根据研究工作的内容，阐明研究方案和实验方法，突出自己的创新性和特色工作，做到论点明确、论据充分、结论可信，与同类和相关工作的比较分析清楚。 正文应该结构合理，层次分明，推理严密，文笔流畅，内容集中简练，图表、参考文献规范。 4 结论 学位论文的结论单独作为一章，但不加章号。 结论是整篇学位论文的总结，是整篇论文的归宿，不是正文中各章节的小结的简单重复。要求精炼、准确、完整地阐述自己的创造性工作或新的见解及其意义和作用。在结论或讨论中可提出尚待解决的问题，进一步研究的设想，方案的改进以及其它与论文工作有关的建议等。 如果不可能导出应有的结论，也可以没有结论而进行必要的讨论。 7 参考文献 学术研究应精确、有据、坦诚、创新和积累。而其中精确、有据和积累需要建立在正确对待前人学术成果的基础上。对学位论文中包含的其他人已经发表或撰写过的材料，或为获得其它教育机构的学位证书而使用过的材料，或与作者一同工作的指导教师和同事对本研究所做的任何贡献，均应在论文中做出明确的标引和说明。 因此，凡有直接引用他人成果（文字、数字、事实以及转述他人的观点）之处，均应加标注说明列于参考文献中，以避免论文抄袭现象的发生。 研究生学位论文参考文献著录及标引按照国家标准《文后参考文献著录规则》（GB7714）和中国博硕士学位论文编写与交换格式。 1正文中标注 （1）标注格式：引用参考文献标注方式应全文统一，放在引文或转述观点的最后一个句号之前，所引文献序号用小4号Times New Roman体、以上角标形式置于方括号中，如：“…成果[1]”。 （2）序号：标注的序号可选择如下两中方式之一：根据在正文中被首次引用出现的先后次序递增，或者按第一作者姓的英文字母或拼音字母的英文字母顺序递增。如一篇论著在论文中多处引用时，以第一次出现的序号为准；当某一论述同时引证多篇参考文献时，应采用[1， 2，…]的格式，标注方括号中的序号按增序排列。 （3）当提及的参考文献为文中直接说明时，其序号应该与正文排齐，如“由文献[8， 10-14]可知：”。 2参考文献著录标准及格式 参考文献著录应项目齐全、内容完整、顺序正确、标点无误。具体要求如下： （1）著录格式：参考文献的序号左顶格，并用数字加方括号表示，如〔1〕，〔2〕，…，每一参考文献条目的最后不用加结束符。在参考文献中的标点符号都采用“半角标点符号＋空格”形式。 （2）排列顺序：根据正文中首次引用出现的先后次序递增，或者按第一作者姓的英文字母或拼音字母的英文字母顺序递增，与正文中的指示序号一致。 （3）作者姓名：只有3位及以内作者的，其姓名全部列上，中外作者一律姓前名后，外国人的名可用第一个字母的大写代替，如：William E(名) Johns（姓）在参考文献中应写为Johns WE；有3位以上作者的，只列前3位，其后加“，等”或“，et al”。 （4）参考文献类型及标识：根据GB3469规定，对各类参考文献应在题名后用方括号加单字母方式加以标识。 以纸张为载体的传统文献类型及标识，见表1。非纸张型载体的电子文献类型及标识：对于数据库（Database）、计算机程序（Computer Program）、光盘图书（Monograph on CD-ROM）、电子公告（Electronic Bulletin Board）等非纸张型载体的电子文献类型的标识，见表2。 表1 传统文献的类型标识 参考文献类型 期刊文章(Journal) 专著(Monograph) 论文集(Conferennce Prceeding) （单篇论文） 学位论文(Dissertation) 专利 (Patent) 类型标识 J M C A D P 参考文献类型 标准 (Standard) 报纸文章(Newspaper) 报告 (Report) 资料汇编(General) 其它文献 类型标识 S N R G Z 表2 电子文献的类型标识 参考文献类型 数据库 计算机程序 图书 电子公告 类型标识 DB CP M EB 以纸张为载体的传统文献在引作为参考文献时不必著明其载体类型，而非纸张型载体的电子文献当被引用为参考文献时需在参考文献类型标识中同时表明其载体类型，见表3。这样，非纸张型载体类型的参考文献类型标识格式为：[电子文献类型标识/载体类型标识]，如： [DB/OL] 联机网上数据库（Database online） [DB/MT] 磁带数据库（Database on magnetic tape） [M/CD] 光盘图书（Monograph on CD-ROM） [CP/DK] 磁盘软件（Computer Program on disk） [J/OL] 网上期刊磁盘软件（serial online） [EB/OL] 网上电子公告（Electronic Bulletin Board online） 表3 非纸张型载体的类型标识 非纸张型载体 磁带 磁盘 光盘 联机网络 载体类型标识 MT DK CD OL （5）著录格式其它说明：原本就缺少某一项时，可将该项连同与其对应的标点符号一起略去；页码不可省略，起止页码间用“-”相隔，不同的引用范围间用“，”相隔。 （6）各类引用参考文献条目的编排格式及举例，见表4。 表4 参考文献条目的编排格式 序号 文献类型 格式及示例 1 学术期刊 (共著录 8项) ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ 〔序号〕作者． 文献题名[J] ． 刊名， 出版年份， 卷号(期号)： 起止-页码 [1]毛峡， 丁玉宽． 图像的情感特征分析及其和谐感评价[J] ．电子学报， 2001， 29(12A) : 1923-1927 [2]Ozgokmen T M， Johns W E， Peters H， et Turbulent Mixing in the Red Sea Outflow Plume from a High-Resoluting Nonhydrostatic Model[J] Jounal of Physical Oceangraphy， 2003，V33(8):1846-1869 2 学术著作 (至少 著录7项) ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ 〔序号〕作者．书名[M] ．版次(首次免注)翻译者出版地: 出版社， 出版年: 起止-页码 [3] 刘国钧， 王连成．图书馆史研究[M] ．北京：高等教育出版社， 1979: 15-50 3 有ISBN号的论文集 (共著录 9项) ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ 〔序号〕作者．题名[A]主编．论文集名[C]．出版地：出版社， 出版年：起止-页码 [4] 毛峡．绘画的音乐表现[A] ．中国人工智能学会2001年全国学术年会论文集[C] ． 北京：北京邮电大学出版社， 2001: 739-740 [5] Mao Xia， et al． Analysis of Affective Characteristics and Evaluation of Harmonious Feeling of Image Based on 1/f Fluctuation Theory[A] ．International Conference on Industrial & Engineering Applications of Artificial Intelligence & Expert Systems (IEA/AIE ) [C] ． Australia Springer Publishing House，2002：17-19 4 学位论文 (共著录 6项) ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ 〔序号〕作者．题名[D] ．保存地：保存单位， 年份 [6] 张和生．地质力学系统理论[D] ．太原：太原理工大学， 1998 5 专利文献(共著录 6项) ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ 〔序号〕专利所有者．专利题名[P] ．专利国别：专利号， 发布日期 〔7〕姜锡洲．一种温热外敷药制备方案[P] ．中国专利: 881056078， 1983-08-12 6 技术标准(共著录 6项) ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ [序号〕标准代号， 标准名称[S] ．出版地：出版者， 出版年 [9] GB/T 16159—1996， 汉语拼音正词法基本规则[S] ．北京：中国标准出版社， 1996 7 报纸文章 (共著录 6项) ① ② ③ ④ ⑤ [序号〕作者．题名[N] ．报纸名， 出版日期(版次) [10] 毛 峡．情感工学破解‘舒服’之迷[N] ．光明日报， 2000-4-17(B1) 8 报告 (共著录 6项) ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ 〔序号〕作者．文献题名[R] ．报告地：报告会主办单位， 年份 [7] 冯西桥．核反应堆压力容器的LBB分析[R] ．北京： 清华大学核能技术设计研究院， 1997 9 电子文献(共著录 6项) ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ 〔序号〕作者．电子文献题名[文献类型/载体类型] ．文献网址或出处， 发表或更新日期/引用日期(任选) 〔21〕王明亮．中国学术期刊标准化数据库系统工程的[EB/OL] ， -html， 1998-08-16/1998-10-04 论文独创性声明 本人声明：本人所呈交的学位论文是在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除论文中已经注明引用的内容外，对论文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本论文中不包含任何未加明确注明的其他个人或集体已经公开发表的成果。 本声明的法律责任由本人承担。 论文作者签名： 年 月 日 论文知识产权权属声明 本人在导师指导下所完成的论文及相关的职务作品，知识产权归属学校。学校享有以任何方式发表、复制、公开阅览、借阅以及申请专利等权利。本人离校后发表或使用学位论文或与该论文直接相关的学术论文或成果时，署名单位仍然为。。大学。 （保密的论文在解密后应遵守此规定） 论文作者签名： 年 月 日 导 师 签 名： 年 月 日 ………………… 关键词：运输经济、公路收费制度、效率、公路基础设施 附件9： 英文摘要格式 Abstract The road tolling system and relative theory in China came into being under the special condition that the road infrastructure hindered the economy After more than ten years’ construction of road infrastructure， the bottleneck of it is At the same time， because the great deal of existent toll way connected into network and occupied the main stem， the negative influence that tolling system put on the resource’s flowage and national economy’s improvement become more and more ………………… Key words: transportation economy; road tolling system; efficiency; road infrastructure 建议：“摘要”字样用3号黑体、单倍行距、居中（Abstract字样用3号Times New Roman加粗），并在其下插入一空行；摘要内容采用小四号宋体(英文为Times New Roman)、5倍行距；“关键词”用小四号黑体，“Key words” 用小四号Times New Roman加粗。 建议：“目录”字样用小二号黑体加粗，章标题用小四号黑体、单倍行距、段前空5行（或者四号黑体、单倍行距）。节标题用小四号宋体、5倍行距。条标题用小四号宋体、单倍行距。可根据具体需要，对格式做适当调整。
你们学院没有指导书的?一般指导书上有具体格式。内容是关键，要是实在不会排版，学校打印复印的都会。你照着模板，填充内容就行
如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~
